上海项盾真空设备有限公司

多靶聚焦磁控溅射镀膜机、双室多靶聚焦磁控溅射镀膜机、电子束蒸发镀膜机、激光蒸发镀膜机、电阻蒸发镀膜机、小型硬质涂层设备、工模具硬质涂层设备、光学镀膜机、PECVD镀膜设备、MOCVD镀膜设备、中频磁控溅射镀膜机、多弧离子镀膜机、磁控溅射多弧复合离子镀膜机、连续式磁控溅射真空镀膜生产线等系列真空镀膜设备。核心部件包括：平面磁控溅射靶，旋转磁控溅射靶，旋转柱弧源，平面弧源，磁过滤弧源、离子源等

山东经济管理学院

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